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产品中心

晶圆激光环切设备
设备型号:AWT11
利用激光对键合晶圆解键合之前进行edge trim工艺,槽深切割至玻璃载板,确保切透RDL层、release胶层时对玻璃载板的损伤程度可控制,损伤深度0~20微米。
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晶圆EMC开槽设备
设备型号:AWT10
利用激光对晶圆上大颗芯片应力集中的四角位置进行开槽加工,阻断应力延申,解决芯片因应力集中导致塑封开裂的问题。
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板边2D打标机
设备型号:APM71
板边2D打标机,用于Strip,Lead frame框架上的2DID雕刻,便于后续各制程的追溯。
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塑封后打标机(载台式+Stack/Slot上下料)
设备型号:APM13
全自动激光打标机适用于封装后产品的打标,支持Slot Magazine和Stack Magazine两种上下料方式,依据客户制程要求可形成1 in 1 out、2 in 2 out机型。
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塑封后打标机(流道式+Stack/Slot上下料)
设备型号:APM12
全自动激光打标机适用于封装后产品的打标,支持Slot Magazine和Stack Magazine两种上下料方式依据客户制程要求可形成1 in 1 out、2 in 2 out机型。
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FC产品On boat打标机(Slot上下料)
设备型号:ATM50
On Boat激光打标机适用于先进封装制程中FCBGA基板的Ring、散热该(电镀类)、Si等产品,进行二维码、字符、LOGO等自定义样式文本打印的全自动设备。具备翻转功能,有效的兼容后段的植球需求,衍生机型ATM51。
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IC in tray激光打标机(Tray上下料)
设备型号:ATM30
全自动IC In tray激光打标机适用于IC单颗封装产品,定位精准,具备自主检测功能,可根据客户需求选配挑补功能。
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Wafer ID激光打标机(非平台式)
设备型号:AWM41
利用激光在晶圆指定区域做对应的文字、2D打标。设备针对小翘曲晶圆产品设计,流程简单,效率高。
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